ドライポンプ

メーカー	エドワーズ
型番	QDP40
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
仕様（日本語）	到達圧力 5Pa 吸気口 ISO40　排気口 NW40 冷却水　2.2ℓ/min 窒素供給圧 0.14～0.69MPa 重量 186Kg 外形寸法　695W×390L×597H
管理番号	K015-0106

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