ターボ分子ポンプ
メーカー | エドワーズ |
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型番 | STP-H600C |
年式 | 1990 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
シリアル番号 | 0349A |
仕様(日本語) | 31kg 35000rmp |
管理番号 | K028-0006 |
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