ターボ分子ポンプ

メーカー	エドワーズ
型番	STP-H600C
年式	1990
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	0349A
仕様（日本語）	３１ｋｇ３５０００ｒｍｐ
管理番号	K028-0006

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