油封真空ポンプ

メーカーライボルト
型番D8B
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, 拡散ポンプ
仕様(日本語)作動液: LEYBONOL LVO 100
到達圧力: 2 x 10⁻³ mbar
排気速度 (50 Hz): 8.5 m³/h
排気速度 (60 Hz): 10.2 m³/h
管理番号 K028-0005
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