メカニカルブースターポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | PRC-003A |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, メカニカルブースターポンプ |
| シリアル番号 | A67A-00528 |
| 仕様（日本語） | 最大排気速度 50Hz 280 m3/h（4670 L/min） 60Hz 330 m3/h（5500 L/min） 最大吸入圧力 50Hz 1.2 x 103 Pa 60Hz 9.3 x 102 Pa 最大許容圧力差 50Hz 4.0 x 103 Pa 60Hz 3.3 x 103 Pa 到達圧力 4.0 x 10-1 Pa 駆動可能圧力 ～1.0 x 105 Pa（大気圧駆動型） 出力 0.75 kW（2極数） 電圧 (200V級モータ) 50Hz 200 V 60Hz 200/220 V 所要油量 0.7 L 冷却方式 水冷 冷却水 一次側圧力 0.3 Mpa 出入口差圧 0.01 Mpa以上 冷却水量 2 L/min 冷却水温度 5 ～ 30 ℃ 外形寸法 W×D×H *6 296×575×260 mm 質量 51 kg |
| 管理番号 | K028-0003 |
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