非接触分光膜厚測定システム
| メーカー | フィルメトリクス |
|---|---|
| 型番 | F20-UV |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 膜厚計（膜厚測定装置） |
| 仕様（日本語） | 測定波長範囲：190~1100nm 膜厚測定範囲：1nm~40μm 光学定数測定膜厚範囲：50nm以上 正確性：膜厚の±0.2%以内（1nm） 測定精度：0.02nm スポット径：付属ステージ（標準Φ1.5mm、スモールスポットΦ0.1mm） 検出器：1250素子 Siアレイ 光源：重水素・ハロゲンランプ 仕様書有り |
| 管理番号 | B002-0003 |
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