エッチング装置
| 管理番号 | K021-0012 |
|---|---|
| メーカー | パナソニック |
| 型番 | E620I |
| 年式 | 2013年式 |
| カテゴリー | エッチング |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | ３EEA0019 |
| 仕様（日本語） | 電源：三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz、21.00 kVA 空圧源：0.5 MPa ～ 0.7 MPa、250 L/min N₂ 源： 0.1 MPa ～ 0.2 MPa、50 L/min サイズ：W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm 重量：2000KG ドライポンプ 2台 型式：EV-S20N チラー 1台 S/N:30600181 クリーンエス 1台 製造番号：1507-11676 |
価格
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