エッチング装置
| 管理番号 | K021-0006 |
|---|---|
| メーカー | パナソニック |
| 型番 | E620R |
| 年式 | 2016年式 |
| カテゴリー | エッチング |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 3EEB0010 |
| 仕様（日本語） | チラー 1台 S/N:015229581160616 ドライポンプ 2台 EV-S20N |
価格
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