エッチング装置

メーカー	パナソニック
型番	E620R
年式	2016
カテゴリー	半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, ドライエッチング装置
ウェハーサイズ	4inch
シリアル番号	3EEB0010
仕様（日本語）	電源：三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz、21.00 kVA 空圧源：0.5 MPa ～ 0.7 MPa、250 L/min N₂ 源： 0.1 MPa ～ 0.2 MPa、50 L/min サイズ：W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm 重量：2000KG チラー　1台　S/N:015229581160616　　　ドライポンプ　2台　EV-S20N
管理番号	K021-0006

価格はお問い合わせください

同じカテゴリの中古機器

Products

在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください
掲載していない機器もお探します！