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エッチング装置
管理番号 | K021-0006 |
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メーカー | パナソニック |
型番 | E620R |
年式 | 2016年式 |
カテゴリー | エッチング |
ウェハーサイズ | 4inch |
シリアル番号 | 3EEB0010 |
仕様(日本語) | チラー 1台 S/N:015229581160616 ドライポンプ 2台 EV-S20N |
価格
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