エッチング装置
| メーカー | パナソニック |
|---|---|
| 型番 | E640 |
| 年式 | 2000 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, ドライエッチング装置 |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | 700620 |
| 仕様（日本語） | 電源：三相 AC 200 / 208 / 220 / 230 / 240 ±10 V、50 / 60 Hz、21.00 kVA 空圧源：0.5 MPa ～ 0.7 MPa、250 L/min N₂ 源： 0.1 MPa ～ 0.2 MPa、50 L/min サイズ：W 1 350 mm × D 2 230 mm × H 2 000 mm 重量：2000KG ドライポンプ 3台 型式：AA30V 型式：A70V 型式：MF100AE チラー 2台 S/N:0141189501150108 S/N:R94356052 |
| 管理番号 | K021-0005 |
売却済
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