エッチング装置
| 管理番号 | K021-0004 |
|---|---|
| メーカー | パナソニック |
| 型番 | E640 |
| 年式 | 1999年式 |
| カテゴリー | エッチング |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | NSDE-215 |
価格
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