クライオポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | CRYO-U16P |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ |
| シリアル番号 | 1506288 |
| 仕様（日本語） | 排気速度L/s：窒素5,000/水素10,000/アルゴン4,200/水16,000 到達圧力Pa：10⁻⁷ 冷却降下時間min(Hz)：120/110(50/60) 吸気口フランジ：UVG-400 質量：６１ｋｇ ホース付き |
| 管理番号 | K021-0002-4 |
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