ウェーハ外観検査装置

メーカー	SCREEN
型番	ZI-2000
年式	2015
カテゴリー	検査・分析装置, 外観検査装置
ウェハーサイズ	4inch
シリアル番号	602817
仕様（日本語）	ウェーハサイズ φ75mm～φ200mm 搬送方式ロボット搬送方式検査方式比較検査方式（Die to Die, Cell to Cell）光源 RGB 3色LED照明（3色から選択）光学分解能 1.5μm×1.5μm 4μm×4μm 外形寸法（W×D×H） 1,400mm × 1,250mm × 2,030mm
管理番号	K021-0001

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