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| メーカー | ニコン |
|---|---|
| 型番 | Micromap MM3000 |
| 年式 | 2007 |
| カテゴリー | 検査・分析装置, 外観検査装置 |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | 550099 |
| 管理番号 | K014-0009 |
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