ターボ分子ポンプ
| メーカー | バリアン真空 |
|---|---|
| 型番 | TV 1001 NAV 9698931 |
| 年式 | 2008 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 502184 |
| 管理番号 | K015-0337 |
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