ターボ分子ポンプ

メーカー大阪真空工業
型番TG450FVAB
年式2015.4
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号3269
仕様(日本語)排気速度(N₂) 約 450 L/s
排気速度(H₂) 約 240 L/s
圧縮比(N₂) 約 1×10⁸
到達圧力 < 1×10⁻⁶ Pa(≒7.5×10⁻⁹ Torr)
起動時間 約2~2.5分
停止時間 約5~6.5分
最大バック圧 260 Pa(約2 Torr)
推奨補助ポンプ 排気速度80 L/min以上
質量 約7 kg
冷却方式 空冷または水冷
使用温度範囲 10~32℃(空冷時)、最大40℃(水冷時)
管理番号 K015-0267
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