ターボ分子ポンプ
メーカー | 大阪真空工業 |
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型番 | TG450FVAB |
年式 | 2015.4 |
カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
シリアル番号 | 3269 |
仕様(日本語) | 排気速度(N₂) 約 450 L/s 排気速度(H₂) 約 240 L/s 圧縮比(N₂) 約 1×10⁸ 到達圧力 < 1×10⁻⁶ Pa(≒7.5×10⁻⁹ Torr) 起動時間 約2~2.5分 停止時間 約5~6.5分 最大バック圧 260 Pa(約2 Torr) 推奨補助ポンプ 排気速度80 L/min以上 質量 約7 kg 冷却方式 空冷または水冷 使用温度範囲 10~32℃(空冷時)、最大40℃(水冷時) |
管理番号 | K015-0267 |
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