高純度エア駆動式ダイヤフラムポンプ

メーカーヤマダコーポレーション
型番DP-10F
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ
シリアル番号13185
仕様(日本語)最大流量:約 7.15 gal/min(約 27 L/min)
接続方式:3/8″ NPT、1/2″ Flaretek、または1/2″ ANSIフランジの液体接続に対応
材質構成:
ポンプケーシング・マニホールド:PTFE(フッ素樹脂)
支持体:ポリプロピレンまたはPPS/HDPE
ダイヤフラム・ボール/フラットバルブ:PTFE製
空気駆動圧力:0.2–0.5 MPa(約 30–70 psi)
液体温度許容範囲:標準で〜80 °C、オプションで〜100 °Cまで
セルフプライミング性能:ポンプ起動時の自吸能力あり
排出量/サイクル:0.017–0.020 gal/cycle(約 64–76 mL)
最大サイクル数:約 300–418 cycles/min
重量:フッ素樹脂構成で約 6.7 kg
管理番号 K015-0264
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