ドライポンプ
| メーカー | エドワーズ |
|---|---|
| 型番 | DP40 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ |
| シリアル番号 | 5511A |
| 管理番号 | K015-0109 |
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