クライオコンプレッサー
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | C30V |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, コンプレッサー |
| シリアル番号 | VC2959 |
| 仕様（日本語） | 電源（ACV×φ×Hz） ：200×3×50/60 電力kW（50/60Hz） 5.0/6.0 冷却方式 水量 水冷 5～15L/min(5~32℃) 質量（Kg） 127 |
| 管理番号 | K015-0105 |
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