クライオポンプ

メーカー	バリアン真空
型番	FS-8 ANSI 2PH
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ
シリアル番号	K3K8863
管理番号	K015-0076

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