クライオポンプ
| メーカー | バリアン真空 |
|---|---|
| 型番 | FS-8 ANSI 2PH |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, クライオポンプ |
| シリアル番号 | K3K8863 |
| 管理番号 | K015-0076 |
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