TMPコントローラー

メーカー	セイコー精機
型番	H1000C
年式	1997
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	5379
管理番号	K015-0015

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