ターボ分子ポンプ
| メーカー | アルバック |
|---|---|
| 型番 | 350FW/D3M |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 350F 0086 |
| 管理番号 | K015-0010 |
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