ターボ分子ポンプ

メーカー	エリコン
型番	1000C
年式	2008
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	30000999889
仕様（日本語）	入力47V AC3.5A 600Hz 出力 36.000min-1 フランジ ICF253 排気口 KF40
管理番号	K015-0008

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