ターボ分子ポンプ

メーカー	セイコー精機
型番	H600C2
年式	1996
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	5174
仕様（日本語）	吸気口：VG150 排気口：NW40
管理番号	K015-0006

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