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| メーカー | ファイファーバキューム |
|---|---|
| 型番 | HiPace 80 |
| 年式 | 2016 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | 16643659 |
| 仕様（日本語） | 吸气口：DN63 ISO-K 排气口：DN16 ISO-KF N₂：67 L/s TC 110 内置 自然空冷 ５kg |
| 管理番号 | K015-0004 |
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