ターボ分子ポンプセット

メーカー	三菱重工業
型番	FT-800W-A1N1
年式	2006
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	E-10499
仕様（日本語）	ターボ分子ポンプ型式：FT-800W-A1N1 コントローラ型式：FT1-800W-D1
管理番号	K014-0014

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