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| メーカー | SEテクノ |
|---|---|
| 年式 | 2004 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置 |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | E10402003 |
| 管理番号 | K014-0008 |
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