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| メーカー | DAIRON |
|---|---|
| 型番 | DSSC-150 |
| 年式 | 2007 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 洗浄装置 |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | 003 |
| 管理番号 | K014-0007 |
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