スパッタリング装置
| 管理番号 | K014-0004 |
|---|---|
| メーカー | アルバック |
| 型番 | SV-6040-T14 |
| 年式 | 2008年式 |
| カテゴリー | PVD |
| ウェハーサイズ | 6inch |
| シリアル番号 | 45050 |
| 仕様（日本語） | 標準排気系：12”クライオポンプ 到達圧力：6.7e-5Pa 成膜エリア：L300mm±10％ |
価格
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