ターボポンプセット

メーカー三菱重工業
型番FT-800W-A1N1
年式2006
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
仕様(日本語)ターボポンプ 型式:FT-800W-A1N1
電源 型式:FTI-800W-D1
・本体寸法:H310 × D310 × W235 mm
・重量:約50kg
・フランジ:VG150(外径235 mm)
管理番号 K014-0002
商談中