ターボ分子ポンプセット
| メーカー | 三菱重工業 |
|---|---|
| 型番 | FT800W-A1N1 |
| 年式 | 2007 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| 仕様(日本語) | ターボポンプ 型式:FT800W-A1N1 電源 型式:FTI-800W-D3 |
| 管理番号 | K014-0001 |
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