ターボ分子ポンプ

メーカー	ファイファーバキューム
型番	TMU071P
年式	2004
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ
シリアル番号	13400798
仕様（日本語）	60 L/s 吸気口：DN63 CF-F 排気口：DN16 ISO-KF 到達圧力：＜5×10⁻⁸ Pa 3.5 kg 自然空冷
管理番号	K015-0005

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