ターボ分子ポンプ
| メーカー | 島津製作所 |
|---|---|
| 型番 | TMP-V3304LM |
| 年式 | 2016 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| シリアル番号 | ABJA0938 |
| 仕様（日本語） | 本体のみ 蒸着装置EPD-1350TBNで使用 |
| 管理番号 | K005-0003 |
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