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クライオチラー

管理番号K005-0001-1
メーカーBROOKS AUTOMATION
型番MaxCool 4000H
カテゴリーチラー
シリアル番号E15100981F
仕様(日本語)最大冷却能力:4,000 W
最大冷却能力時の温度:-98℃
最低温度:-133℃
到達運転圧力(最大排気速度の25%):5E-8 Torr
標準的なコールドトラップ領域:2.2 m2
標準的なコールドトラップ領域からの最大水蒸気排気速度:327,800 l/s
保存的最大コールドトラップ領域:2.8 m2
消費電力(スタンバイモード):12.0 kW
消費電力(冷却モード、標準負荷):12.4 kW
電力消費(冷却モード、最大負荷):19.2 kW
冷却水フロー(13℃):15.1 l/分
冷却水フロー(18℃):18.2 l/分
冷却水フロー(24℃):27.3 l/分
冷却水フロー(29℃):54.1 l/分
価格 3,000,000

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