チラー

メーカー西川計測
型番AOW-K3-T3-JO-01
年式2009
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, チラー, 水冷式チラー
シリアル番号096002/MZ096061-2
管理番号 K073-0011
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