ドライポンプ

メーカー	荏原製作所
型番	ESR80WN
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
仕様（日本語）	到達圧力：0.2Pa 最大排気速度：8500L/min 重量：１８０kg 定格電流:19.8A 電源：3Ph　200~220V/200V　60/50Hz
管理番号	K004-0081

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