ロータリーポンプ
| メーカー | アルカテル |
|---|---|
| 型番 | 2021 C1 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ロータリーポンプ |
| シリアル番号 | 364287 |
| 仕様（日本語） | ポンピングスピード：約 20 m³/h（または、333 L/min程度） 終極真空：約 10^-2 mbarまで 電圧： 230 V または 400 V の三相交流。 周波数： 50 Hz または 60 Hz |
| 管理番号 | K004-0074 |
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