スパッタリング装置
| 管理番号 | K004-0026 |
|---|---|
| メーカー | キヤノンアネルバ |
| 型番 | C-7500L |
| カテゴリー | PVD |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| シリアル番号 | EVP-30708 |
| 仕様（日本語） | "ロードロック室(LL-CH)とスパッタ室(SP-CH)の２室構成 ガス：Ar,N2,O2等" |
価格
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