VHF-CVD装置

メーカーキヤノンアネルバ
型番C-9001
年式2007
カテゴリー半導体中古装置(前工程), 成膜装置, CVD装置
ウェハーサイズ4inch
仕様(日本語)2024/5/24 廃棄
※部品どり実施
"基板ホルダー最高設定温度350℃
基板内膜厚均一性SiO2±5%以内、SiN±10%以内
基板間膜厚均一性SiN±5%以内"
管理番号 K004-0009
売却済