VHF-CVD装置
メーカー | キヤノンアネルバ |
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型番 | C-9001 |
年式 | 2007 |
カテゴリー | 半導体中古装置(前工程), 成膜装置, CVD装置 |
ウェハーサイズ | 4inch |
仕様(日本語) | 2024/5/24 廃棄 ※部品どり実施 "基板ホルダー最高設定温度350℃ 基板内膜厚均一性SiO2±5%以内、SiN±10%以内 基板間膜厚均一性SiN±5%以内" |
管理番号 | K004-0009 |
売却済
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