UVドライクリーナー
| 管理番号 | K004-0006 |
|---|---|
| メーカー | samco |
| 型番 | UV-300 |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | Asher |
| 仕様（日本語） | "Φ370㎜、AL製 基板回転機構付き 基板加熱：室温~300℃ UVランプ：主波長253.7nm及び184.9nm ガス導入系：酸素(プロセス用)窒素(反応室内パージ用)" |
売却済
在庫確認・ご質問などお気軽に問い合わせください