UVオゾンクリーナー
| 管理番号 | K004-0006 |
|---|---|
| メーカー | サムコ |
| 型番 | UV-300 |
| 年式 | 2006年式 |
| カテゴリー | アッシング |
| ウェハーサイズ | 4inch |
| 仕様（日本語） | "Φ370㎜、AL製 基板回転機構付き 基板加熱：室温~300℃ UVランプ：主波長253.7nm及び184.9nm ガス導入系：酸素(プロセス用)窒素(反応室内パージ用)" |
売却済
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