アッシング装置
| メーカー | キヤノン |
|---|---|
| 型番 | MAS8000 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置, アッシング装置 |
| ウェハーサイズ | 8inch |
| シリアル番号 | 81236 |
| 管理番号 | A4012 |
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