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| メーカー | ADTEC |
|---|---|
| 型番 | AM-1000S-ASM-U1 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, エッチング装置 |
| ウェハーサイズ | 12inch |
| シリアル番号 | 098000311 |
| 状態 | O/H後,未使用 U1改造 |
| 管理番号 | A1003 |
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