ターボ分子ポンプ
| メーカー | エドワーズ |
|---|---|
| 型番 | STP-XA3203CV |
| 年式 | 2010 |
| カテゴリー | 真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ターボ分子ポンプ |
| ウェハーサイズ | other |
| シリアル番号 | 107006827 |
| 仕様（日本語） | 定格回転速度：27,500rpm 重量：80kg フランジ口径：VG300 排気口：KF40 排気速度：N2 3,200 L/s H2 2,300 L/s 冷却方法：水冷 |
| 状態 | 未使用品 |
| 管理番号 | A1000 |
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