ウェハー搬送ロボット

メーカー	SHINKO
型番	BX80-070938-13
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, ロボット
仕様（日本語）	■大気ロボット SINFONIA 型番：BX80-070938-15 付属品 ■バッテリーモジュール YASKAWA 型番：JRMSP-120XCP96000 3.6VDC
管理番号	A0222

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