ウェハー搬送ロボット

メーカーSHINKO
型番BX80-070938-13
カテゴリー真空機器・付属品(半導体装置コンポーネント), ロボット
仕様(日本語)■大気ロボット
SINFONIA
型番:BX80-070938-15

付属品
■バッテリーモジュール
YASKAWA
型番:JRMSP-120XCP96000
3.6VDC
管理番号 A0222