大気ロボット

メーカー日立
型番 CR-712T
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, ロボット
管理番号 A0171
Products

ウェハー搬送ロボット

メーカー
SHINKO
型　番
BX80-070938-13

ロボットコントローラー

メーカー
アルバック
型　番
MSH-IVA

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