光学式膜厚モニター

メーカー島津製作所
型番OSU-1,PCSETFA
年式2007
カテゴリー真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）
シリアル番号A11474500073SS
仕様（日本語）AC90~240V
50/60HZ
管理番号 Y013
Products

ECR プラズマ成膜装置

メーカー
JSWアフティ
型　番
EC-9600L

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クリーンオーブン

メーカー
ESPEC
型　番
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クリーンオーブン

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型　番
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