セミオートプローバー

メーカー	ベクターセミコン
型番	AX-2500SEI(TDDB試験用改造)
カテゴリー	検査・分析装置, テスト工程, プローバー
シリアル番号	SA20002066
仕様（日本語）	2024年改造ウェハサイズ： 6インチまで B接点型（常時ON）ロック式：解除スイッチBoxに変更チャックトップ金メッキ処理： Niメッキ仕様に変更温度コントローラー： THC-151 DC電源： PK160-7.5 1200W 単相AC100V　16Amax 真空ポンプ： VP-114/VP-118 安全カバー閉時： 1300W×1365D×2060H mm 安全カバー開時： 1300W×1765D×2060H mm 本体重量： 700kg システムラック重量： 100kg 仕様書、取説書有り。
管理番号	M001-0012

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