ライフタイム測定機

メーカーコベルコ科研
型番WAFER τ LTA-1510EP/1
年式2012.3
カテゴリー検査・分析装置
シリアル番号A1-066
仕様（日本語）計測対象：
シリコン　シリコンカーバイド　（バルク、エピタキシャル可能）
ウエハーサイズ：
３インチ、4インチ、6インチ
電源：
AC100±10V　50/60Hz
圧縮空気：
0.5~0.7 MPa　1NI/min
真空：
～34KPa　20NI/min
本体サイズ：
800×1250×1300 mm
重量：
300㎏
仕様書、取説書有り
管理番号 M001-0010
Products

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