反射分光膜厚計

メーカー	大塚電子
型番	FE-3000
カテゴリー	検査・分析装置, 膜厚計（膜厚測定装置）
シリアル番号	AV42-1116
仕様（日本語）	サンプルサイズ：３インチ　4インチ　6インチ測定波長範囲：230nm~800nm 測定膜厚範囲：10nm~20μm 膜厚精度：±0.2㎚測定スポット径：φ200μm/レンズ倍率自動XYZステージ本体サイズ：1000×940×1636mm 本体重量：約300kg 仕様書、取説書有り
管理番号	M001-0009

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