セミオートプローバー

メーカー	ベクターセミコン
型番	AX-2500 / 1505A
年式	2011.12
カテゴリー	検査・分析装置, テスト工程, プローバー
シリアル番号	SA1905063
仕様（日本語）	ウェハサイズ： 6インチまでマニピュレータ設置台数：最大6台(8台まで対応可能) チャックトップ：特殊合金温度コントローラー： THC-151 DC電源： PK160-7.5 1200W 単相AC100V 16Amax 真空ポンプ： VP-114/VP-118 安全カバー閉時： 1300W×1365D×2060H mm 安全カバー開時： 1300W×1765D×2060H mm 本体重量： 700kg システムラック重量： 100kg 仕様書、取説書有り
管理番号	M001-0008

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