プラズマCVD用除害装置
| メーカー | EBARA |
|---|---|
| 型番 | G5-P2 |
| 年式 | 2011 |
| カテゴリー | 半導体中古装置（前工程）, 成膜装置, CVD装置 |
| シリアル番号 | DC001361 |
| 仕様（日本語） | 最大流入量：350SLM 電源：AC200V 60Hz±10%、3相 25A 本体寸法：1200×650×1900mm 本体重量：約550kg 仕様書、取説書有り |
| 管理番号 | M001-0005-3 |
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