スクロール型ドライ真空ポンプ

メーカー	アルバック
型番	ISP-500C
年式	2018
カテゴリー	真空機器・付属品（半導体装置コンポーネント）, 真空ポンプ, ドライポンプ
シリアル番号	WH822
仕様（日本語）	使用時間：11660 到達圧力：1Pa 電源：3相　200~460V 本体重量：38㎏取説書有り
状態	動作確認済み
管理番号	M001-0005-1

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